Alexmar писал(а):
Очень интересный снимок! Хочется рассматривать.
Спасибо! Хочется попробовать со стеком снять, и ещё улучшить качество, там на пластине ещё много интересных мест)
alexpine писал(а):
Вот и стало интересно - что это за пирамидки... В монокристалле по умолчанию ведь не может быть внутренних микрокристаллов, которые проявляются травлением? Там единая кристаллическая решётка по всем направлениям, нет?
Это хороший вопрос! Все тонкости я не знаю, на причину объяснить смогу.
Дело не просто в том что решётка кристаллическая, но и в том, какого она типа.
Решётка монокристалла кремния - такого типа, что может выглядеть совершенно по-разному, в зависимости от того,
вдоль какой оси сделан срез.
В одном случае это будет просто прямоугольная квадратная решётка атомов (стандартный срез, т.н. "индекс Миллера 100") - обычно пластины делаются именно в таком срезе. В другом это т.н. "срез 111", когда в плоскости среза - плотноупакованные связи, образующие сплошной треугольный узор.
В зависимости от типа срезов, и физические, и химические свойства поверхности кристалла могут быть очень разные!
Плоскость 100 - относительно легко растворяется/травится, а 111 - очень устойчива.
И когда при травлении, при случайных флюктуациях глубины случайно обнажается плоскость 111, она оказывает дальнейшее устойчивое сопротивление травлению, и образует грани пирамид..